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    超高分辨率顯微鏡中的納米定位系統

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    來源:機電之家網 時間:2020-11-02 15:08:56 訪問:1156 次

    芯明天P15系列XYZ壓電納米定位臺是用于超分辨率顯微鏡應用的多軸定位臺,通過閉環控制,可以實現亞納米級的高精度運動,在XYZ平面上的行程范圍可達300微米。

    超高分辨率顯微鏡中的納米定位系統


    P15內部采用有限元分析(FEA)優化的線切割撓曲鉸鏈結構。FEA使其設計具有盡可能高的剛度,并使線性和角度跳動最小化。閉環版本采用高精度的傳感反饋,與E70系列閉環控制器配套使用,具有非常高的穩定性。臺體中心66×66mm大通孔,非常適合顯微成像、微操作等應用。

    特點

    • XYZ三維運動

    • 行程范圍:300μm/軸

    • 無摩擦、高精度撓性導向系統

    • 掃描平整度高

    • 通孔尺寸:66×66mm

    • 閉環階躍時間:60ms

    • 閉環分辨率:13nm

    • 承載能力:0.5kg

    帶載階躍時間

    閉環上升曲線,滿行程階躍時間60ms。

    超高分辨率顯微鏡中的納米定位系統


    閉環壓電控制器

    E70.D3S壓電控制器采用專用運放電路保證了高壓大電流的輸出能力,通過優化傳感伺服模塊從而提高了PI調節與控制的精準度與穩定性,可靠的抗干擾設計保證了控制器的高頻響應速度。

    超高分辨率顯微鏡中的納米定位系統


    技術參數

    功能:數字與模擬集成式控制器

    通道數:3

    模擬輸入:0~10V

    輸出電壓:0~120/150V

    平均電流:70mA

    帶寬:10kHz

    傳感器類型:SGS

    伺服特性:P.I+低通+陷波

    通信接口:RS-232/422、USB

    工作溫度: 0~50℃

    尺 寸:168.5×134×45.5mm

    重 量:1.2kg

    供電電壓:24V DC1.5A(36W)

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    【 責任編輯:高升 】

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